當濕飽和蒸汽中的水全部汽化即成為干飽和蒸汽，此時(shí)蒸汽溫度仍為沸點(diǎn)溫度。如果對于飽和蒸汽繼續加熱，使蒸汽溫度升高并超過(guò)沸點(diǎn)溫度，此時(shí)得到的蒸汽稱(chēng)為過(guò)熱蒸汽。
      
過(guò)熱蒸汽和飽和蒸汽的區別：

       當液體在有限的密閉空間中蒸發(fā)時(shí)，液體分子通過(guò)液面進(jìn)入上面空間，成為蒸汽分子。由于蒸汽分子處于紊亂的熱運動(dòng)之中，它們相互碰撞，并和容器壁以及液面發(fā)生碰撞，在和液面碰撞時(shí)，有的分子則被液體分子所吸引，而重新返回液體中成為液體分子。開(kāi)始蒸發(fā)時(shí)，進(jìn)入空間的分子數目多于返回液體中分子的數目，隨著(zhù)蒸發(fā)的繼續進(jìn)行，空間蒸汽分子的密度不斷增大，因而返回液體中的分子數目也增多。當單位時(shí)間內進(jìn)入空間的分子數目與返回液體中的分子數目相等時(shí)，則蒸發(fā)與凝結處于動(dòng)平衡狀態(tài)，這時(shí)雖然蒸發(fā)和凝結仍在進(jìn)行，但空間中蒸汽分子的密度不再增大，此時(shí)的狀態(tài)稱(chēng)為飽和狀態(tài)。

       在飽和狀態(tài)下的液體稱(chēng)為飽和液體，其對應的蒸汽是飽和蒸汽，但最初只是濕飽和蒸汽，待蒸汽中的水分完全蒸發(fā)后才是干飽和蒸汽。蒸汽從不飽和到濕飽和再到干飽和的過(guò)程溫度是不增加的，干飽和之后繼續加熱則溫度會(huì )上升，成為了過(guò)熱蒸汽 。